在承接一项净化工程前都需要根据业主的要求制定出该工程的装修方案。每一项工程的具体方案可能不太一样,但是在制定的时候也会有一些共用的标准。
主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,净化车间无尘是必然的要求。
净化车间每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前净化车间应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
洁净车间净化装修方案一般涉及整体要求、地面和排水部分的要求、屋顶和天花板部分的要求、墙壁和门窗的要求、净化设备以及室内的采光、照明等。接下来,我们一一说明。
1、洁净车间净化装修的整体要求。为了是车间保持一个洁净的环境,车间的结构支撑物应该是坚固耐用并且容易维修,还需要便于清洁的。为了防止交叉感染,应分别设置人流通道和物料通道,并且设置相应的风淋室、气闸室等,还应设置捕蚊虫装置。车间的高度设计也应该满足生产的需要。与外界联通的管路、门窗、通风道边上的缝隙应填充密封。
2、地面和排水的要求。地面应该根据具体的行业生产工艺要求来选用不同的地面形式,应选择无毒、不吸水不渗水、防滑、耐腐蚀、易清洁、防静电的地面材料,地面还应有相应的坡度。3、吊顶和天花板的要求。应该选择易清洁、不容易积灰、表面光洁、无毒、防霉耐腐蚀的材料。
4、墙面和门窗的要求。洁净车间墙面的使用材料应具备无毒、不吸水不渗水、不易发霉、耐酸碱腐蚀、容易清洁的点。门窗的框架应采用不容易生锈、防潮、容易清洁的材料。
5、净化设施的要求。车间应该根据洁净度等级的要求安装合适的净化设备,以达到有效的净化效果。还应安装有效的通风换气设备,能把室内不洁净的空气排除出去。在洁净车间的入口处应给需要进入到洁净室的人员和物料设置净化设施。
6、采光、照明的设计要求。车间应根据生产的需要提供足够的照明,一般照明的照度不应低于300Lx。